設計：

超凈間個房間照度要求：超潔凈間照度大于等于300lux。

凈化間照明控制要求：

凈分照明可采用本地控制加分片總控，單個開關控制照明燈小于20盞；

PECVD的照明控制需要離開PECVD沉積室一定的距離（大于8米）；此部分燈具要求耐高溫大于等于120度且不能直接裝在PECVD頂部，應設計在兩沉積室的中間頂部或前方。

凈化間插座安裝位置、高度要求：

凈化間的每一個柱子上都需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔的和一個三孔插座，高度為離地面75cm；

非凈化區凈化區的每根柱子上也需要安裝插座面板，面板上需要有一個兩孔的和一個三孔插座，高度為離地面75cm；

照明插座以及動力設備電源引入位置：照明與插座將共用一路主電源，照明也同樣需要經過漏保，電源將從車間配電房引入，動力電也是從車間電房引入，吊頂以上要有維修照明燈和維修插座。

非超凈間的照明要求：

超純水房、空調房的照度為：150lux；

氣體房的照度為：100lux，氣體房的燈應使用防爆燈。

磨邊區、組件后段的照度：150lux，應采用節能燈（鋁合金光照燈）

工藝設備用電：

工藝設備用電依設備需要確定給設備配備電纜，設備電纜在設計過程中需要滿足設備工藝用電的要求，能確保設備用電安全；

精密設備與其他動力設備需要分開單獨拉線，如激光設備的電纜需要與其他設備用電分開。

配電箱設計：每個配電箱在設計時除了把主要用電設備的空開計算在內，另外還需留有一些備用空開以滿足增加設備以及維修接電。

所有設備和功能性電源的電纜均應按最短路徑原則進行設計，電纜和空開的計算不要太保守盡量擴大系數。

施工：

技術夾層內的電纜橋架的鏈接安裝需在頂板安裝前完成。（保護頂板強度）

技術夾層內的主電纜的布置需在頂板安裝前完成。（保護頂板強度）

技術夾層內的照明需提前施工完畢，以確保技術夾層內其他技術工種的施工安全。

中天道成將以不斷創新、追求卓越的潔凈技術和用戶第一，質量至上的服務理念和決心，為國內外用戶提供潔凈室及相關受控環境一站式整體解決方案。咨詢熱線：0512-67507365